常見處理工藝比較：有機廢氣污染物種類繁多，特性各異，因此相應采用的治理方法也各不相同，常用的有：冷凝法、吸收法、吸附法、生物法、催化氧化法、燃燒等；近年來由國外也發展出一些新的工藝技術：生物法、低溫等離子法等，以下對各工藝作簡要對比介紹。廢氣處理設備

1冷凝法

是把廢氣直接導入冷凝器冷凝，冷凝液經分離可回收有價值的有機物。采用冷凝法要求廢氣中有機物濃度高,一般有機物濃度要達到幾萬甚至幾十萬ppm，對于低濃度有機廢氣此法不適用。

2吸收法

吸收法可分為化學吸收和物理吸收，大部分有機廢氣不宜采用化學吸收。物理吸收要求吸收劑應具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發性，吸收液飽和后經解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價高效的低揮發性吸收液也比較困難，同時二次污染問題較難解決，凈化效果不理想。廢氣凈化設備

3吸附法

有機廢氣通過活性炭的吸附，可達到90%～95%以上的凈化率，設備簡單、投資小。該法可以采用水蒸汽等能對吸附飽和的活性炭進行再生，但運行費用相當高，適用于有回收價值的中高濃度VOCs。廢氣吸附設備

4 生物法

該法是基于成熟的生物處理污水技術上發展起來，具有能耗低、運行費用少的特點，在國外有一定規模的應用。其缺點在于污染物在傳質和消解過程中需要有足夠的停留時間，從而增大了設備的占地，同時由于微生物具有一定的耐沖擊負荷限值，增加了整個處理系統在停啟時的控制。該法目前在國內污水站廢氣治理中有少量應用，對工業廢氣治理的應用很少。